气体漏孔的分类和特性

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漏孔作为检漏设备的

标准件,为检漏仪提供稳定、准确的基准,或进行测试和调整以提供更高的精度水平。有几种方法产生所需的稳定流量。每种应用都有其自己的特点

一传统的泄漏方式利用了石英玻璃对氦气的天然渗透性。石英玻璃元件浸没在加压氦气容器中,这将提供固定的氦气流量,可用于提供校准质谱仪式真空检漏仪所需的精度。

1微量流动速度-5x10-8mbar.l/s至5x10-7mbar.l/s

2建立了温度补偿一般为2.9%

3极其脆弱,易碎

4制造和修理都很昂贵

5仅适用于单流量氦气

二卷曲毛细管参考泄漏,泄漏利用一段毛细管的长度来限制流量,然后将毛细末端压碎,进一步限制流量,并将输出流量降低到参考泄漏所需的水平。另一种制造技术是挤压细玻璃毛细管来限制流动。这种方法具有一定的灵活性,可用于不同的气体。

1流动速率和气体供应范围:约1x10-6mbar.l/s至5x10-4mbar.l/s

2对气体和流速有一定的灵活性和控制。

3容易堵塞和污染(只适用于实验室)

4制造和维修成本很高

三膜/硅渗透基准泄漏

膜和硅渗透基准泄漏通常用于不需要精确、准确流速的粗应用。膜可以起到过滤或改变气体特性的作用,因此在确定合适的部件时需要考虑许多设计因素。虽然一旦确定了规格,生产成本会很低,但与这些产品相关的设置成本也很大

1流动速率和气体供应范围:约1x10-5mbar.l/s至5x10-2mbar.l/s

2对气体和流速有一定的灵活性和控制。

3把不同的格式合并起来很困难,成本也很高。

4通过批量生产,变化很大

四不锈钢真空烧结参考泄漏,在大多数工业应用中,参考泄漏类型是由微米级不锈钢粉末产生的,该粉末被高度压缩并固定在真空炉中,形成了限制气体流动的多孔泄漏元件。这个过程是高度可控的,可以容纳大量的流量和气体。该技术还可以在流量变化很小或没有变化的情况下进行焊接,并压入特殊加工的端部配件,为定制应用提供最大的灵活性。

1任何流动速率-1x10-9mbar.l/s到5x10-2mbar.l/s,几乎任何气体。

2优异的性能,在温度范围内变化极小

3可制作和焊接成定制配件和身体。

4在任何非常高的压差(真空-bar)下都能有效操作。

5坚固耐用。

6非常低的内部容量,快速的响应。




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